Dimensão do modo | JTZ-1200 | JTZ-1200 | JTZ-1400 | JTZ-1400 |
1200*1400mm | 1250*1500mm | 1400*1700mm | 1400*1800mm | |
Tipo de filme | Película de refeição, filme translúcido, com filme, electromagnetismo shield, película de filme dielétrico... | |||
Fonte de alimentação | Resistência de evaporação, magnetron DC power, a potência de RF | |||
Pulverização catódica e estrutura do eletrodo | Coluna metas magnetron, Plano de Metas de retângulo, twin metas, eléctrodo de evaporação. | |||
A câmara de vácuo estrutura | Vertical porta dupla vertical de porta única, sistema de bomba postposition, horizontal, porta única, sistema de bomba para o lado. | |||
Limite de vácuo | 4.0*10 -4 Pa | |||
Sistema de Vácuo | Bomba de difusão +Raízes + bomba bomba mecânica + bomba de exploração | |||
O tempo da bomba | A bomba da atmosfera para 8.5*10 -3 , abaixo de Minutos | |||
Peça o modo de movimento | Rotação público/ Controlo de frequência | |||
Modo de controlo | Manual/Automático todos em um modo de ecrã táctil + PLC | |||
Observação | Podemos projetar a dimensão do equipamento de acordo com o cliente técnica especial exigência. |