| Las impurezas | La NF3 ≥ 99, 995% | La NF3 ≥ 99, 99%. | La NF3 ≥ 99, 98% | La NF3 ≥ 99, 9% |
| CF4 | ≤20 ppm de vol. | ≤40 ppm de vol. | ≤100 ppm de vol. | ≤ 500 ppm de vol. |
| N2 | ≤5 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤50 ppm de vol. |
| S2+ar | ≤3 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤50 ppm de vol. |
| El CO2 | ≤1 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. |
| H2O. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. |
| HF | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. |
| El SF6 | ≤1 ppm de vol. | ≤2 ppm de vol. | ≤2 ppm de vol. | ≤25 ppm de vol. |
| N2O. | ≤1 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. |
| CO | ≤ 0, 5 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. |