Dunkelfeld (Wafer)
Dunkelfeld ermöglicht die Beobachtung von gestreutem oder gebeugten Licht aus der Probe. Alles, was nicht flach ist, reflektiert dieses Licht, während alles, was flach ist, dunkel erscheint, sodass Unvollkommenheiten klar hervorstechen. Der Benutzer kann das Vorhandensein von sogar einem winzigen Kratzer oder Fehler bis zu den 8nm Ebene kleiner als die Auflösung Leistungsgrenze eines optischen Mikroskops zu identifizieren. Darkfield ist ideal zur Erkennung von winzigen Kratzern oder Fehlern an einer Probe und zur Untersuchung von Proben auf Spiegeloberflächen, einschließlich Wafern. |
Differenzieller Interferenzkontrast (Leitfähige Partikel)
DIC ist eine mikroskopische Beobachtungstechnik, bei der die Höhendifferenz einer Probe, die nicht mit Hellfeld nachweisbar ist, zu einem reliefartigen oder dreidimensionalen Bild mit verbessertem Kontrast wird. Diese Technik nutzt polarisiertes Licht und kann mit einer Auswahl von drei speziell entwickelten Prismen angepasst werden. Es eignet sich ideal für die Untersuchung von Proben mit sehr kleinen Höhenunterschieden, einschließlich metallurgischer Strukturen, Mineralien, Magnetköpfen, Festplattenmedien und polierten Waferoberflächen. |
Überwachung des Durchlichttransmitts (LCD)
Für transparente Proben wie LCDs, Kunststoffe und Glasmaterialien ist die Durchlichtbeobachtung durch die Verwendung einer Vielzahl von Kondensatoren möglich. Die Untersuchung der Probe im transmitten Hellfeld und polarisiertem Licht kann in einem einzigen praktischen System durchgeführt werden. |
Polarisiertes Licht (Asbest)
Diese mikroskopische Beobachtungstechnik nutzt polarisiertes Licht, das durch einen Satz von Filtern (Analysator und Polarisator) erzeugt wird. Die Eigenschaften der Probe beeinflussen direkt die Intensität des durch das System reflektierten Lichts. Es eignet sich für metallurgische Strukturen (d.h. Wachstumsmuster von Graphit auf Kugelguss-Eisen), Mineralien, LCDs und Halbleitermaterialien. |
Element | Spezifikation | BS-6026RF | BS-6026TRF | |
Optisches System | NIS45 Infinite Color Corrected Optical System (Röhrenlänge: 200mm) | * | * | |
Ansichtskopf | ERGO Kippkopf, verstellbar von 0-35 Grad geneigt, Augenabstand 47mm-78mm; Splitting Ratio Okular:Trinokular=100:0 oder 20:80 oder 0:100 | ○ | ○ | |
Seidentopf Trinokularkopf, 30 Grad geneigt, Augenabstand: 47mm-78mm; Splitting Ratio Okular:Trinokular=100:0 oder 20:80 oder 0:100 | * | * | ||
Seidentopf Binokularkopf, 30 Grad geneigt, Augenabstand: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
Okular | Super Wide Field Plan Okular SW10X/25mm, Dioptrienausgleich | * | * | |
Super Wide Field Plan Okular SW10X/22mm, Dioptrienausgleich | ○ | ○ | ||
Extra breites Field Plan Okular EW12,5X/16mm, Dioptrien einstellbar | ○ | ○ | ||
Weitfeld-Okular WF15X/16mm, Dioptrienausgleich | ○ | ○ | ||
Weitfeld-Okular WF20X/12mm, Dioptrienausgleich | ○ | ○ | ||
Ziel | NIS45 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF & DF) | 5X/NA=0,15, WD=20MM | * | * |
10X/NA=0,3, WD=11MM | * | * | ||
20X/NA=0,45, WD=3,0MM | * | * | ||
NIS45 Infinite LWD Plan APO Objective (BF & DF) | 50X/NA=0,8, WD=1,0MM | * | * | |
100X/NA=0,9, WD=1,0MM | * | * | ||
NIS60 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF) | 5X/NA=0,15, WD=20MM | ○ | ○ | |
10X/NA=0,3, WD=11MM | ○ | ○ | ||
20X/NA=0,45, WD=3,0MM | ○ | ○ | ||
NIS60 Infinite LWD Plan APO Objective (BF) | 50X/NA=0,8, WD=1,0MM | ○ | ○ | |
100X/NA=0,9, WD=1,0MM | ○ | ○ | ||
Nasenstück | Rückwärts motorisierte Sextuple-Nossepiece (mit DIC-Steckplatz) | * | * | |
Kondensator | LWD-KONDENSATOR N.A.0.65 | ○ | * | |
Übertragene Beleuchtung | 3W S-LED-Lampe , Mitte voreingestellt, Intensität einstellbar | ○ | * | |
Reflektierte Beleuchtung | Reflected light 5W LED, Köhler-Beleuchtung, mit 6-Positionen-Revolver | * | * | |
BF1 Hellfeld-Modul | ○ | ○ | ||
BF2 Hellfeld-Modul | * | * | ||
DF-Dunkelfeld-Modul | * | * | ||
Integrierter ND6-, ND25- und Farbkorrekturfilter | ○ | ○ | ||
Motorgesteuerte Steuerung | Nasenstück Bedienfeld mit Tasten. 2 der am häufigsten verwendeten Objektive können durch Drücken der grünen Taste eingestellt und umgeschaltet werden. Die Lichtintensität wird nach dem Ändern des Objektivs automatisch angepasst | * | * | |
Fokussierung | Low -Hand motorisierte automatische Fokussierung Mechanismus, unabhängige Bedienung der linken und rechten Räder, drei-Geschwindigkeit-Einstellung, Fokussierbereich 30mm, Wiederholgenauigkeit: 0.1μm, motorisierte Flucht-und Recovery-Mechanismus | * | * | |
Max. Probenhöhe | 76mm | * | ||
56mm | * | |||
Stufe | Hochpräzise motorisierte X-Y Doppelschicht-mechanische Bühne, Größe 275 X 239 X 44,5 mm; Verfahrweg: X-Achse, 125mm; Y-Achse, 75mm. Wiederholgenauigkeit ±1.5μm, Höchstgeschwindigkeit 20mm/s. | * | * | |
DIC-Kit | DIC-Kit für reflektierte Beleuchtung (kann für Objektive mit 10X, 20X, 50X, 100X Objektiven verwendet werden) | ○ | ○ | |
Polarisationskit | Polarisator für reflektierte Beleuchtung | ○ | ○ | |
Analysator für reflektierte Beleuchtung, 0-360 Grad drehbar | ○ | ○ | ||
Polarisator für Durchlichtbeleuchtung | ○ | |||
Analysator für Durchlichtbeleuchtung | ○ | |||
Anderes Zubehör | 0,5x C-Mount-Adapter | ○ | ○ | |
1x C-Mount-Adapter | ○ | ○ | ||
Staubabdeckung | * | * | ||
Netzkabel | * | * | ||
Kalibrierfolie 0,01mm (Mikrometer) | ○ | ○ | ||
Probenpresser | ○ | ○ |